台湾龙翩机1200配置表

机械泵       英国爱德华275

罗茨泵       英国爱德华2600

电子枪       日本PLASMATECH10KW

POLYCOLD     美国POLYCOLD

离子源       美国KRI考夫曼离子源

加热系统     下加热灯管加热

气体流量     三路美国布鲁克斯流量计

晶控膜厚仪   美国英福康SQM-160

全自动一键操作系统，每炉产品参数带记忆储存功能

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